芯片工艺分析

层次去除

1 去除芯片封装

包括塑料封装、陶瓷封装 以及砷化镓(GaAs)芯 片去封装

2 干法刻蚀

使用等离子刻蚀机去除 芯片表面氮化硅、二氧化 硅薄膜

3 离子束刻蚀

使用离子束刻蚀机去除 芯片上的金属层

4 芯片研磨

使用高精度研磨机对芯 片表面进行抛光处理

2D XRAY

Bonding Wire

3D XRAY

PCB Layout

纵向分析

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